超纯水使用于移动相製备、标准液调配及作为空白实验。实验用超纯水中的有机物会造成背景值与杂讯的发生，使分析结果受到干扰。以 HPLC（以 UV 检测）对不同超纯水的有机物含量进行检测时，结果显示，有机物的含量与吸收背景值具正相关的关係（图１）。
此时，可以使用紫外线灯（波长 185 nm）照射来降低有机物含量，被氧化分解的有机物则以离子的形态存在于水中，可以在后续的纯化程序中使用离子交换树脂来加以去除（图２）。所以，在纯化程序中可以利用紫外线来大幅降低有机物（TOC）的浓度（表１）。
表１ 紫外线灯降低TOC的效果
[table=80%,#cccccc][tr][td][/td][td]
超纯水
[/td][td]超纯水
[/td][/tr][tr][td]（无紫外灯）
[/td][td]（紫外灯）
[/td][/tr][tr][td]TOC（ppb）
[/td][td]15
[/td][td]3
[/td][/tr][/table]LC/MS 是以液相层析法来分离待测样品，之后再以离子化分析来判定其物质质量的一种高灵敏度系统。因此，对于所使用的纯水水质中的有机物含量要求非常严格。以紫外线照射的超纯水进行含有 4 种合成杀菌剂的图谱比对分析。
结果显示，使用紫外线照射的超纯水来製备的标准液，可以获得稳定且较低的背景值与对称又不重叠的波峰。而使用未经紫外线照射处理的超纯水，其分析结果则呈现背景值过高，造成与目标成份重叠，以致无法正确分析的结果。因此上述结果确认了，使用具有紫外灯的超纯水系统所纯化的超纯水，适用于LC/MS的微量有机物分析。
